宇部工業高等専門学校研究報告

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宇部工業高等専門学校研究報告 Volume 23
published_at 1977-03

イオンスパッタリングによる窒化アルミニウム薄膜

イオンスパッタリングによる窒化アルミニウム薄膜
Yamane Y.