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イオンスパッタリングによる窒化アルミニウム薄膜

宇部工業高等専門学校研究報告 Volume 23 Page 21-25

published_at 1977-03

Title

イオンスパッタリングによる窒化アルミニウム薄膜

Creators Miki H.

Creators Yamane Y.

Source Identifiers

Languages jpn

Resource Type departmental bulletin paper

Publishers 宇部工業高等専門学校

Date Issued 1977-03

File Version Not Applicable (or Unknown)

Access Rights metadata only access