キーワードsputtering
発行年
1990 - 1994 1 1995 - 1999 2 2000 - 2004 1 2005 - 2009 1
キーワード
sputtering 5 ECR 3 Co-Cr 2 ferrite 2 perpendicular magnetic recording 2 Co-Cr-Ta 1 ECR sputtering 1 ECRスパッタリング 1 bias 1 compopsitional separation 1 electron cyclotron resonance 1 electron-cyclotron-resonance 1 low temperature processing 1 magnetic field 1 magnetic microstructure 1 perpendicular recording 1 reactive sputtering 1 spark-plasma-sintering 1 スパッタリング 1 フェライト 1 低温作製 1 放電プラズマ焼結 1 電子サイクロトロン共鳴 1
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種類
学術雑誌論文 4 会議発表論文 1
部局
大学院理工学研究科（工学） 5
検索結果 5 件
登録番号 (降順)
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
量産対応型ECRスパッタ装置によるフェライト薄膜の低温高速製造技術の開発
粉体および粉末冶金 53 巻 8 号
作成者 : 山本 節夫 | 松浦 満 | 岡田 繁信 | 下里 義博 出版者 : 粉体粉末冶金協会 発行日 : 2006-08
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
フェライトの低温作製法
マグネティックス, マイクロマシン・センサシステム合同研究会資料 MAG-01-19 ; MSS-01-07 巻
作成者 : 山本 節夫 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 出版者 : 電気学会 発行日 : 2001-02
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
ECRスパッタ法で作製したCo-Cr-Ta垂直磁気ディスク
日本応用磁気学会誌 23 巻 S2(Supplement) 号
作成者 : 山本 節夫 | 池田 朋広 | 平田 京 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 出版者 : 日本応用磁気学会 発行日 : 1999
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
ECRスパッタ法を用いたCo-Cr垂直磁気異方性膜の作製 ： 磁界によるプラズマ制御の効果
日本応用磁気学会誌 22 巻 2 号
作成者 : 中村 哲也 | 山本 節夫 | 佐藤 王高 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | 前田 安 | 廣野 滋 出版者 : 日本応用磁気学会 発行日 : 1998
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
バイアス・スパッタ法によるCo-Cr垂直磁気記録媒体の作製
日本応用磁気学会誌 17 巻 S2(Supplement) 号
作成者 : 山本 節夫 | 松本 隆之 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 出版者 : 日本応用磁気学会 発行日 : 1993
関連作成者
山本 節夫 5 栗巣 普揮 4
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