キーワード
ferrite
発行年
2000 - 2004
1
2005 - 2009
1
キーワード
ferrite
2
sputtering
2
ECR
1
ECR sputtering
1
ECRスパッタリング
1
electron cyclotron resonance
1
electron-cyclotron-resonance
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low temperature processing
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reactive sputtering
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spark-plasma-sintering
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スパッタリング
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種類
会議発表論文
1
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部局
大学院理工学研究科（工学）
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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
量産対応型ECRスパッタ装置によるフェライト薄膜の低温高速製造技術の開発
粉体および粉末冶金 53 巻 8 号
作成者
: 山本 節夫 | 松浦 満 | 岡田 繁信 | 下里 義博
出版者
: 粉体粉末冶金協会
発行日
: 2006-08
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
フェライトの低温作製法
マグネティックス, マイクロマシン・センサシステム合同研究会資料 MAG-01-19 ; MSS-01-07 巻
作成者
: 山本 節夫 | 栗巣 普揮 | 松浦 満
出版者
: 電気学会
発行日
: 2001-02
関連作成者
山本 節夫
2
栗巣 普揮
1
