キーワードelectron cyclotron resonance
発行年
1995 - 1999 1 2005 - 2009 1
キーワード
electron cyclotron resonance 2 ECR 1 control of ECR plasma 1 etching plasma 1 ferrite 1 microwave electric field 1 reactive sputtering 1 sputtering 1 uniform plasma 1 wave propagation 1
種類
学術雑誌論文 2
部局
大学院理工学研究科（工学） 2
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登録番号 (降順)
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
量産対応型ECRスパッタ装置によるフェライト薄膜の低温高速製造技術の開発
粉体および粉末冶金 53 巻 8 号
作成者 : 山本 節夫 | 松浦 満 | 岡田 繁信 | 下里 義博 出版者 : 粉体粉末冶金協会 発行日 : 2006-08
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
Measurement of a three-dimensional distribution of microwave electric field in electron cyclotron resonance plasmas
Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes 36 巻 7B 号
作成者 : Furuse Muneo | Tamura Hitoshi | Watanabe Seiichi | 福政 修 出版者 : 応用物理学会 発行日 : 1997-07
関連作成者
山本 節夫 1 福政 修 1
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