キーワード
hydrogen
部局
工学部
発行年
2000 - 2004
1
2010 - 2014
1
キーワード
hydrogen
2
ELA
1
SiN
1
crystal growth mechanism
1
disk-shaped grain
1
excimer laser annealing
1
poly-Si
1
polycrystal silicon
1
stress
1
textured grain
1
種類
紀要論文
1
学術雑誌論文
1
部局
工学部
2
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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
エキシマレーザ・アニールで作製した多結晶シリコン膜のディスク状結晶粒 : a-Si膜中の水素の影響
日本金屬學會誌 76 巻 2 号
作成者
: 部家 彰 | 河本 直哉 | 松尾 直人
出版者
: 日本金屬學會
発行日
: 2012
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
Characteristics of Recrystallized poly-Si Film Prepared by ELA of a-Si Deposited on SiO2 / SiN / Glass Using PE-CVD Method
山口大学工学部研究報告 52 巻 1 号
作成者
: 河本 直哉 | 阿部 寿 | 松尾 直人 | 田口 亮平 | 納田 朋幸 | 浜田 弘喜
出版者
: 山口大学工学部
発行日
: 2001-10
関連作成者
河本 直哉
2
関連雑誌
山口大学工学部研究報告 52 巻 1 号
1
