2000 - 2004 1 2010 - 2014 2

hydrogen 3 ELA 1 SiN 1 crystal growth mechanism 1 current density 1 discharges (electric) 1 disk-shaped grain 1 excimer laser annealing 1 ion density 1 ionisation 1 nickel 1 plasma density 1 plasma sources 1 poly-Si 1 polycrystal silicon 1 radiation effects 1 stress 1 textured grain 1

学術雑誌論文 2 紀要論文 1

工学部 2 大学院理工学研究科（工学） 1

河本 直哉 2 大原 渡 1

山口大学工学部研究報告 52 巻 1 号 1