キーワード
deflecton
発行年
1990 - 1994
1
キーワード
crystal ingot
1
deflecton
1
silicon-wafer slicer
1
vibration
1
種類
会議発表論文
1
部局
大学院理工学研究科（工学）
1
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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
Vibration and deflection of a silicon-wafer slicer cutting the crystal ingot
Proceedings of the International Conference on Motion and Vibration Control
作成者
: 長南 征二 | 江 鐘偉 | Yuki Yasuhiro
出版者
: 日本機械学会
発行日
: 1992
関連作成者
江 鐘偉
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