Miki H.
イオンスパッタリングによる窒化アルミニウム薄膜
宇部工業高等専門学校研究報告 Volume 23
Page 21-25
published_at 1977-03
Title
イオンスパッタリングによる窒化アルミニウム薄膜
Creators
Yamane Y.
Source Identifiers
Languages
jpn
Resource Type
departmental bulletin paper
Publishers
宇部工業高等専門学校
Date Issued
1977-03
File Version
Not Applicable (or Unknown)
Access Rights
metadata only access