発行年1995 - 1999 部局大学院理工学研究科(工学)
検索結果 209 件
作成者 : Kaneda T. | 三好 正毅 | Nishimura S. | Matsuo N. 出版者 : Springer 発行日 : 1999-04
作成者 : 中村 哲也 | 山本 節夫 | 佐藤 王高 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | 前田 安 | 廣野 滋 出版者 : 日本応用磁気学会 発行日 : 1998
Co-γFe_2O_3垂直磁気記録媒体のノイズ特性
日本応用磁気学会誌 21 巻 4-2 号
作成者 : 安藤 貴之 | 山本 節夫 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | 土井 孝紀 | 田万里 耕作 出版者 : 日本応用磁気学会 発行日 : 1997
Efficient FDTD analysis of conductor-backed CPW's with reduced leakage loss
IEEE transactions on microwave theory and techniques 47 巻 8 号
作成者 : 堀田 昌志 | Qian Yongxi | Itoh Tatsuo 出版者 : Institute of Electrical and Electronics Engineers 発行日 : 1999-08
ペニング電離を利用したCo含有酸化鉄薄膜メディアの低温・高速作製法
電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 98 巻 103 号
作成者 : 山時 照章 | 山本 節夫 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | 中田 健一 | 柿原 康男 | 土井 孝紀 | 田万里 耕作 出版者 : 電子情報通信学会 発行日 : 1998-06-11
誘導結合型プラズマを用いたスパッタ法で作成したCo-Cr垂直磁気ディスク
電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 98 巻 182 号
作成者 : 池田 朋広 | 山本 節夫 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 出版者 : 電子情報通信学会 発行日 : 1998-07-17
作成者 : 山本 節夫 | 林 利彦 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 出版者 : 電子情報通信学会 発行日 : 1997-11-20
直流熱プラズマとその材料プロセスへの応用
プラズマ・核融合学会誌 72 巻 3 号
作成者 : 福政 修 出版者 : プラズマ・核融合学会 発行日 : 1995-03
作成者 : 佐藤 王高 | 山本 節夫 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 出版者 : 日本応用磁気学会 発行日 : 1996
作成者 : 福政 修 | 西村 英樹 出版者 : プラズマ・核融合学会 発行日 : 1996
Production of highly uniform electron cyclotron resonance plasmas by distribution control of the microwave electric field
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films 17 巻 6 号
作成者 : Furuse Muneo | Watanabe Seiichi | Tamura Hitoshi | 福政 修 出版者 : American Vacuum Society 発行日 : 1999-11
Photoinduced defects in CdS-doped glasses
Materials Science Forum 196-201 巻
作成者 : 三好 正毅 | Towata Ken-ichi | Matsuki Hirobumi | Matsuo Naoto | Kaneda Teruhisa 出版者 : Trans Tech Publications 発行日 : 1995
作成者 : 土井 孝紀 | 田万里 耕作 | 柿原 康男 | 山本 節夫 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 出版者 : 日本応用磁気学会 発行日 : 1998
ECRスパッタ法によるCo-Cr垂直磁気異方性膜作成におけるイオン照射効果の検討
電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 96 巻 166 号
ECRスパッタ法によりCo-Cr膜を作成したとき、その磁気特性と結晶学的特性は成膜中の基板を照射するイオン加速電圧に強く依存することか明らかとなった。このイオン加速電圧はArガス圧とターゲット-基板間距離により制御することができ、イオン加速電圧を20V以下に適正化した結果、50nmの厚さのCo-Cr膜で、優れた結晶配向性(5゜以下のΔθ_<50>)、高い垂直異方性磁界(4kOe以上のH_k)、高い垂直方向力(1400Oe以上のH_<c⊥>)が得ることができた。
作成者 : 佐藤 王高 | 山本 節夫 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | 廣野 滋 | 前田 安 出版者 : 電子情報通信学会 発行日 : 1996-07-19
誘導結合型プラズマ支援型マグネトロンスパッタ法によるCo-Cr磁性薄膜の作成
電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 97 巻 92 号
誘導結合型プラズマ(ICP)を利用したマグネトロンスパッタ装置を試作し、Co-Cr垂直磁気異方性膜の作製を行った。誘導結合型プラズマ支援マグネトロンスパッタ装置では、高周波によるプラズマ生成と、ターゲットに印可した直流によるスパッタ成膜とが機能分離できているために、通常のマグネトロンスパッタ法ではプラズマの維持が不可能な低いターゲット電圧領域においてもCo-Cr薄膜の作成が可能なことが明らかになった。ICPを用いることで、通常のマグネトロンスパッタ法のみの場合よりも、高い成膜速度が実現できた。ICP電力を増すと、作製したCo-Cr膜の垂直磁気異方性は減少する傾向がみられた。大きな垂直磁気異方性をもつCo-Cr膜を高速に作製するには、ICPを用いることに加えて、正の基板バイアス電圧の印可を併用することが効果的であるとの見通しを得た。
作成者 : 林 利彦 | 山本 節夫 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 出版者 : 電子情報通信学会 発行日 : 1997-06-13
Photoinduced formation of CdSSe nanocrystals in glass
Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes 37 巻 1 号
作成者 : 三好 正毅 | Fukuda Hirofumi | Matsuo Naoto 出版者 : 応用物理学会 発行日 : 1998-01
Relationship between control of reactive plasmas with magnetic filter and formation of thin films
Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes 36 巻 7B 号
作成者 : 福政 修 | Tauchi Yasushi | Sakiyama Satoshi 出版者 : 応用物理学会 発行日 : 1997-07
Negative ion volume production in electron cyclotron resonance hydrogen plasmas
Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes 38 巻 7B 号
作成者 : 福政 修 | Matsumori Masanori 出版者 : 応用物理学会 発行日 : 1999-07
A novel resonant coupling type microstrip line interconnect
IEICE transactions on electronics E82-C 巻 1 号
作成者 : 堀田 昌志 | Qian Yongxi | Itoh Tatsuo 出版者 : 電子情報通信学会 発行日 : 1999-01
Synthesis of β”-alumina from powder mixtures using thermal plasma processing
Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes 38 巻 7B 号
作成者 : 福政 修 | Sakiyama Satoshi | Esaki Hirotoshi 出版者 : 応用物理学会 発行日 : 1999-07