キーワード
sputtering
種類
学術雑誌論文
部局
大学院理工学研究科（工学）
発行年
1990 - 1994
1
1995 - 1999
2
2005 - 2009
1
キーワード
sputtering
4
ECR
3
Co-Cr
2
perpendicular magnetic recording
2
Co-Cr-Ta
1
bias
1
compopsitional separation
1
electron cyclotron resonance
1
ferrite
1
magnetic field
1
magnetic microstructure
1
perpendicular recording
1
reactive sputtering
1
もっと見る
元に戻す
種類
学術雑誌論文
4
部局
大学院理工学研究科（工学）
4
検索結果 4 件
登録番号 (降順)
表示順
なし
登録番号(昇順)
登録番号(降順)
更新日 (昇順)
更新日 (降順)
公開日 (昇順)
公開日 (降順)
発行年月日 (昇順)
発行年月日 (降順)
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
量産対応型ECRスパッタ装置によるフェライト薄膜の低温高速製造技術の開発
粉体および粉末冶金 53 巻 8 号
作成者
: 山本 節夫 | 松浦 満 | 岡田 繁信 | 下里 義博
出版者
: 粉体粉末冶金協会
発行日
: 2006-08
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
ECRスパッタ法で作製したCo-Cr-Ta垂直磁気ディスク
日本応用磁気学会誌 23 巻 S2(Supplement) 号
作成者
: 山本 節夫 | 池田 朋広 | 平田 京 | 栗巣 普揮 | 松浦 満
出版者
: 日本応用磁気学会
発行日
: 1999
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
ECRスパッタ法を用いたCo-Cr垂直磁気異方性膜の作製 ： 磁界によるプラズマ制御の効果
日本応用磁気学会誌 22 巻 2 号
作成者
: 中村 哲也 | 山本 節夫 | 佐藤 王高 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | 前田 安 | 廣野 滋
出版者
: 日本応用磁気学会
発行日
: 1998
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
バイアス・スパッタ法によるCo-Cr垂直磁気記録媒体の作製
日本応用磁気学会誌 17 巻 S2(Supplement) 号
作成者
: 山本 節夫 | 松本 隆之 | 栗巣 普揮 | 松浦 満
出版者
: 日本応用磁気学会
発行日
: 1993
関連作成者
山本 節夫
4
栗巣 普揮
3
