発行年
2005 - 2009
キーワード
sputtering
部局
発行年
2005 - 2009
1
キーワード
ECR
1
electron cyclotron resonance
1
ferrite
1
reactive sputtering
1
sputtering
1
種類
学術雑誌論文
1
部局
大学院理工学研究科（工学）
1
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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
量産対応型ECRスパッタ装置によるフェライト薄膜の低温高速製造技術の開発
粉体および粉末冶金 53 巻 8 号
作成者
: 山本 節夫 | 松浦 満 | 岡田 繁信 | 下里 義博
出版者
: 粉体粉末冶金協会
発行日
: 2006-08
関連作成者
山本 節夫
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