発行年1995 - 1999 キーワードsputtering 部局
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ECRスパッタ法で作製したCo-Cr-Ta垂直磁気ディスク
日本応用磁気学会誌 23 巻 S2(Supplement) 号
作成者 : 山本 節夫 | 池田 朋広 | 平田 京 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 出版者 : 日本応用磁気学会 発行日 : 1999
作成者 : 中村 哲也 | 山本 節夫 | 佐藤 王高 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | 前田 安 | 廣野 滋 出版者 : 日本応用磁気学会 発行日 : 1998