キーワードreactive ECR sputtering 部局
検索結果 5 件
作成者 : Wada H. | 山本 節夫 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | Shimosato Y. 出版者 : Materials Resarch society of Japan 発行日 : 2003
作成者 : 平田 京 | 山本 節夫 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | 土井 孝紀 | 田万里 耕作 出版者 : 粉体粉末冶金協会 発行日 : 2001
作成者 : Wada Hirofumi | 山本 節夫 | 栗巣 普揮 | Matsuura Mitsuru 出版者 : 電子情報通信学会 発行日 : 2003-09
作成者 : 山本 節夫 | 平田 京 | 和田 宏文 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | 土井 孝紀 | 田万里 耕作 出版者 : 日本応用磁気学会 発行日 : 2002
作成者 : 山本 節夫 | 和田 宏文 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | 下里 義博 出版者 : 日本応用磁気学会 発行日 : 2003