発行年
1995 - 1999
キーワード
plasma CVD
部局
発行年
1995 - 1999
1
キーワード
electron energy distribution function
1
magnetic filter
1
multi cusp plasma source
1
plasma CVD
1
reactive plasmas
1
spatial control
1
種類
学術雑誌論文
1
部局
大学院理工学研究科（工学）
1
検索結果 1 件
登録番号 (降順)
表示順
なし
登録番号(昇順)
登録番号(降順)
更新日 (昇順)
更新日 (降順)
公開日 (昇順)
公開日 (降順)
発行年月日 (昇順)
発行年月日 (降順)
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
Relationship between control of reactive plasmas with magnetic filter and formation of thin films
Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes 36 巻 7B 号
作成者
: 福政 修 | Tauchi Yasushi | Sakiyama Satoshi
出版者
: 応用物理学会
発行日
: 1997-07
関連作成者
崎山 智司
1
田内 康
1
福政 修
1
