発行年
1995 - 1999
キーワード
multi cusp plasma source
部局
発行年
1995 - 1999
1
キーワード
electron energy distribution function
1
magnetic filter
1
multi cusp plasma source
1
plasma CVD
1
reactive plasmas
1
spatial control
1
種類
学術雑誌論文
1
部局
大学院理工学研究科（工学）
1
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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
Relationship between control of reactive plasmas with magnetic filter and formation of thin films
Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes 36 巻 7B 号
作成者
: 福政 修 | Tauchi Yasushi | Sakiyama Satoshi
出版者
: 応用物理学会
発行日
: 1997-07
関連作成者
崎山 智司
1
田内 康
1
福政 修
1
