発行年
2000 - 2004
キーワード
low temperature sputtering
部局
発行年
2000 - 2004
2
キーワード
ECR sputtering
2
Ni-Zn ferrite
2
ferrite thin-film
2
high deposition rate
2
low temperature sputtering
2
種類
学術雑誌論文
2
部局
大学院理工学研究科（工学）
2
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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
High rate and low-temperature sputter-deposition of Ni-Zn ferrite thin-films
Transactions of the Materials Research Society of Japan 29 巻 4 号
作成者
: Ogita Tomoharu | 山本 節夫 | Isida Gen | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | Shimosato Yoshihiro | Okada Shigenobu
出版者
: Materials Resarch society of Japan
発行日
: 2004
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
コーン型ターゲットを用いた反応性ECRスパッタ法によるNi-Znフェライト薄膜の高速作製
日本応用磁気学会誌 28 巻 5 号
作成者
: 山本 節夫 | 荻田 知治 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | 下里 義博 | 岡田 繁信
出版者
: 日本応用磁気学会
発行日
: 2004
関連作成者
山本 節夫
2
栗巣 普揮
2
