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キーワード
ECR sputtering 1
ECRスパッタリング 1
electron-cyclotron-resonance 1
ferrite 1
low temperature processing 1
spark-plasma-sintering 1
sputtering 1
スパッタリング 1
フェライト 1
低温作製 1
放電プラズマ焼結 1
電子サイクロトロン共鳴 1
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