キーワード
low temperature
部局
大学院理工学研究科（工学）
発行年
2000 - 2004
2
キーワード
Ni-Zn ferrite thin films
2
high-rate deposition
2
low temperature
2
reactive ECR sputtering
2
種類
学術雑誌論文
2
部局
大学院理工学研究科（工学）
2
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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
Low temperature sputter-deposition of Ni-Zn ferrite thin-films using electron-cyclotron-resonance microwave plasma
Transactions of the Materials Research Society of Japan 28 巻 4 号
作成者
: Wada H. | 山本 節夫 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | Shimosato Y.
出版者
: Materials Resarch society of Japan
発行日
: 2003
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
反応性ECRスパッタリング法によるNi-Znフェライト薄膜の低温作製
日本応用磁気学会誌 27 巻 4 号
作成者
: 山本 節夫 | 和田 宏文 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | 下里 義博
出版者
: 日本応用磁気学会
発行日
: 2003
関連作成者
山本 節夫
2
栗巣 普揮
2
