発行年
2010 - 2014
キーワード
excimer laser annealing
発行年
2010 - 2014
1
キーワード
disk-shaped grain
1
excimer laser annealing
1
hydrogen
1
polycrystal silicon
1
textured grain
1
種類
学術雑誌論文
1
部局
工学部
1
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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
エキシマレーザ・アニールで作製した多結晶シリコン膜のディスク状結晶粒 : a-Si膜中の水素の影響
日本金屬學會誌 76 巻 2 号
作成者
: 部家 彰 | 河本 直哉 | 松尾 直人
出版者
: 日本金屬學會
発行日
: 2012
関連作成者
河本 直哉
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