発行年
2000 - 2004
キーワード
excimer laser annealing
部局
発行年
2000 - 2004
1
キーワード
Sin substrate
1
burst
1
crystal growth mechanism
1
excimer laser annealing
1
hydogens
1
poly-Si
1
種類
紀要論文
1
部局
工学部
1
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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
ELA により形成された poly-Si 結晶成長様式 : グレイン形状と水素の関係
山口大学工学部研究報告 53 巻 1 号
作成者
: 河本 直哉 | 松尾 直人
出版者
: 山口大学工学部
発行日
: 2002-10
関連作成者
河本 直哉
1
関連雑誌
山口大学工学部研究報告 53 巻 1 号
1
