発行年
1995 - 1999
キーワード
etching plasma
部局
大学院理工学研究科（工学）
発行年
1995 - 1999
1
キーワード
control of ECR plasma
1
electron cyclotron resonance
1
etching plasma
1
microwave electric field
1
uniform plasma
1
wave propagation
1
種類
学術雑誌論文
1
部局
大学院理工学研究科（工学）
1
検索結果 1 件
登録番号 (降順)
表示順
なし
登録番号(昇順)
登録番号(降順)
更新日 (昇順)
更新日 (降順)
公開日 (昇順)
公開日 (降順)
発行年月日 (昇順)
発行年月日 (降順)
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
Measurement of a three-dimensional distribution of microwave electric field in electron cyclotron resonance plasmas
Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes 36 巻 7B 号
作成者
: Furuse Muneo | Tamura Hitoshi | Watanabe Seiichi | 福政 修
出版者
: 応用物理学会
発行日
: 1997-07
関連作成者
福政 修
1
