キーワード
deflection
部局
発行年
1990 - 1994
1
1995 - 1999
2
キーワード
crystal ingot
3
deflection
3
rotary machinery
3
silicon-wafer slicer
3
PD control
1
air film stiffness
1
control forces
1
transient response
1
種類
学術雑誌論文
3
部局
大学院理工学研究科（工学）
3
検索結果 3 件
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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
大口径薄刃スライサのアクティブ刃先制御に関する研究 : 内周刃ダイヤモンドブレードのフィードバック振動制御
日本機械学会論文集. C編 61 巻 587 号
作成者
: 増井 慶次郎 | 長南 征二 | 甲斐 文隆 | 江 鐘偉
出版者
: 日本機械学会
発行日
: 1995-07
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
大口径薄刃スライサのアクティブ刃先制御に関する研究 : ブレード・インゴット間の空気膜剛性制御の効果
日本機械学会論文集. C編 61 巻 582 号
作成者
: 増井 慶次郎 | 長南 征二 | 江 鐘偉
出版者
: 日本機械学会
発行日
: 1995-02
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
シリコンウエハスライサのたわみ制御に関する研究
日本機械学会論文集. C編 60 巻 570 号
作成者
: 長南 征二 | 江 鐘偉 | 増井 慶次郎
出版者
: 日本機械学会
発行日
: 1994-02
関連作成者
江 鐘偉
3
