キーワード
crystal ingot
部局
発行年
1990 - 1994
2
1995 - 1999
2
キーワード
crystal ingot
4
silicon-wafer slicer
4
deflection
3
rotary machinery
3
PD control
1
air film stiffness
1
control forces
1
deflecton
1
transient response
1
vibration
1
種類
学術雑誌論文
3
会議発表論文
1
部局
大学院理工学研究科（工学）
4
検索結果 4 件
登録番号 (降順)
表示順
なし
登録番号(昇順)
登録番号(降順)
更新日 (昇順)
更新日 (降順)
公開日 (昇順)
公開日 (降順)
発行年月日 (昇順)
発行年月日 (降順)
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
大口径薄刃スライサのアクティブ刃先制御に関する研究 : 内周刃ダイヤモンドブレードのフィードバック振動制御
日本機械学会論文集. C編 61 巻 587 号
作成者
: 増井 慶次郎 | 長南 征二 | 甲斐 文隆 | 江 鐘偉
出版者
: 日本機械学会
発行日
: 1995-07
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
大口径薄刃スライサのアクティブ刃先制御に関する研究 : ブレード・インゴット間の空気膜剛性制御の効果
日本機械学会論文集. C編 61 巻 582 号
作成者
: 増井 慶次郎 | 長南 征二 | 江 鐘偉
出版者
: 日本機械学会
発行日
: 1995-02
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
シリコンウエハスライサのたわみ制御に関する研究
日本機械学会論文集. C編 60 巻 570 号
作成者
: 長南 征二 | 江 鐘偉 | 増井 慶次郎
出版者
: 日本機械学会
発行日
: 1994-02
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
Vibration and deflection of a silicon-wafer slicer cutting the crystal ingot
Proceedings of the International Conference on Motion and Vibration Control
作成者
: 長南 征二 | 江 鐘偉 | Yuki Yasuhiro
出版者
: 日本機械学会
発行日
: 1992
関連作成者
江 鐘偉
4
