発行年1990 - 1994 キーワードcrystal ingot 部局大学院理工学研究科（工学）
発行年
1990 - 1994 2
キーワード
crystal ingot 2 silicon-wafer slicer 2 control forces 1 deflection 1 deflecton 1 rotary machinery 1 vibration 1
種類
会議発表論文 1 学術雑誌論文 1
部局
大学院理工学研究科（工学） 2
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登録番号 (降順)
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
シリコンウエハスライサのたわみ制御に関する研究
日本機械学会論文集. C編 60 巻 570 号
作成者 : 長南 征二 | 江 鐘偉 | 増井 慶次郎 出版者 : 日本機械学会 発行日 : 1994-02
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
Vibration and deflection of a silicon-wafer slicer cutting the crystal ingot
Proceedings of the International Conference on Motion and Vibration Control
作成者 : 長南 征二 | 江 鐘偉 | Yuki Yasuhiro 出版者 : 日本機械学会 発行日 : 1992
関連作成者
江 鐘偉 2
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