キーワードcrystal growth mechanism 部局工学部
発行年
2000 - 2004 3
キーワード
crystal growth mechanism 3 ELA 2 poly-Si 2 SCL 1 SPC 1 SiN 1 Sin substrate 1 burst 1 disk-shaped grain 1 excimer laser annealing 1 hydogens 1 hydrogen 1 poly-Si grains 1 stress 1
もっと見る
元に戻す
種類
紀要論文 3
部局
工学部 3
検索結果 3 件
登録番号 (降順)
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
Characteristics of Recrystallized poly-Si Film Prepared by ELA of a-Si Deposited on SiO2 / SiN / Glass Using PE-CVD Method
山口大学工学部研究報告 52 巻 1 号
作成者 : 河本 直哉 | 阿部 寿 | 松尾 直人 | 田口 亮平 | 納田 朋幸 | 浜田 弘喜 出版者 : 山口大学工学部 発行日 : 2001-10
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
エキシマ・レーザ・アニール法により形成されたpoly-Si 薄膜結晶成長の遷移領域に関する検討
山口大学工学部研究報告 51 巻 2 号
作成者 : 河本 直哉 | 阿部 寿 | 田口 亮平 | 松尾 直人 | 納田 朋幸 | 浜田 弘喜 出版者 : 山口大学工学部 発行日 : 2001-03
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
ELA により形成された poly-Si 結晶成長様式 : グレイン形状と水素の関係
山口大学工学部研究報告 53 巻 1 号
作成者 : 河本 直哉 | 松尾 直人 出版者 : 山口大学工学部 発行日 : 2002-10
関連作成者
河本 直哉 3
関連雑誌
山口大学工学部研究報告 53 巻 1 号 1 山口大学工学部研究報告 52 巻 1 号 1 山口大学工学部研究報告 51 巻 2 号 1
Copyright（C）2008-2018 山口県大学図書館協議会