発行年
2000 - 2004
キーワード
Plasma processing
部局
発行年
2000 - 2004
1
キーワード
Laminar plasma
1
Plasma jet generator
1
Plasma processing
1
Thermal plasma
1
種類
学術雑誌論文
1
部局
大学院理工学研究科（工学）
1
検索結果 1 件
登録番号 (降順)
表示順
なし
登録番号(昇順)
登録番号(降順)
更新日 (昇順)
更新日 (降順)
公開日 (昇順)
公開日 (降順)
発行年月日 (昇順)
発行年月日 (降順)
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
High thermal efficiency-type laminar plasma jet generator for plasma processing
Vacuum 59 巻 1 号
作成者
: 大崎 堅 | 福政 修 | Kobayashi Akira
出版者
: Elsevier
発行日
: 2000-10
