キーワード
Multicusp plasma source
部局
大学院理工学研究科（工学）
発行年
1990 - 1994
1
キーワード
Electron energy distribution function
1
Magnetic filter
1
Multicusp plasma source
1
Plasma processing
1
Spatial control
1
種類
学術雑誌論文
1
部局
大学院理工学研究科（工学）
1
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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
Spatial control of processing plasmas in a multicusp plasma source equipped with a movable magnetic filter
電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 111 巻 12 号
作成者
: 福政 修 | 内藤 裕志 | 崎山 智司
出版者
: 電気学会
発行日
: 1991
関連作成者
崎山 智司
1
内藤 裕志
1
