キーワード
Magnetic filter
部局
大学院理工学研究科（工学）
発行年
1990 - 1994
1
2005 - 2009
1
キーワード
Magnetic filter
2
D^- density distribution
1
Electron energy distribution function
1
H^-
1
Multicusp plasma source
1
Plasma parameter control
1
Plasma processing
1
Spatial control
1
Volume negative ion source
1
種類
学術雑誌論文
2
部局
大学院理工学研究科（工学）
2
検索結果 2 件
登録番号 (降順)
表示順
なし
登録番号(昇順)
登録番号(降順)
更新日 (昇順)
更新日 (降順)
公開日 (昇順)
公開日 (降順)
発行年月日 (昇順)
発行年月日 (降順)
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
Spatial control of processing plasmas in a multicusp plasma source equipped with a movable magnetic filter
電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 111 巻 12 号
作成者
: 福政 修 | 内藤 裕志 | 崎山 智司
出版者
: 電気学会
発行日
: 1991
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
D＾- density distribution and its dependence on plasma parameters in volume negative ion sources
Thin solid films 506-507 巻
作成者
: Mori Shigefumi | 福政 修
出版者
: Elsevier
発行日
: 2006-05
関連作成者
崎山 智司
1
内藤 裕志
1
福政 修
1
