キーワード
Electron-cyclotron-resonance
部局
大学院理工学研究科（工学）
発行年
2000 - 2004
1
キーワード
ECR sputtering
1
Electron-cyclotron-resonance
1
High-rate deposition
1
Thin films
1
種類
学術雑誌論文
1
部局
大学院理工学研究科（工学）
1
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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
High-rate deposition of Co-Cr films with perpendicular magnetic anisotropy by ECR sputtering
Journal of magnetism and magnetic materials 235 巻 1-3 号
作成者
: 山本 節夫 | Wada Hirofumi | 栗巣 普揮 | Matsuura Mitsuru
出版者
: Elsevier
発行日
: 2001
関連作成者
山本 節夫
1
栗巣 普揮
1
