発行年
2005 - 2009
キーワード
ECR sputtering
部局
大学院理工学研究科（工学）
発行年
2005 - 2009
1
キーワード
ECR sputtering
1
Ni-Zn ferrite
1
low-target-voltage sputtering
1
thin film
1
種類
学術雑誌論文
1
部局
大学院理工学研究科（工学）
1
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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
低電圧 ECR スパッタ法による Ni-Zn フェライト薄膜の作製
日本応用磁気学会誌 29 巻 4 号
作成者
: 田中 輝光 | 石田 元 | 藤森 宏高 | 下里 義博 | 岡田 繁信 | 松浦 満 | 山本 節夫
出版者
: 日本応用磁気学会
発行日
: 2005
関連作成者
山本 節夫
1
藤森 宏高
1
