発行年1995 - 1999 キーワードECR sputtering 部局大学院理工学研究科(工学)
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作成者 : 山本 節夫 | 佐藤 王高 | 中村 哲也 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 | 廣野 滋 | Maeda Yasushi 出版者 : 日本応用磁気学会 発行日 : 1997
作成者 : 佐藤 王高 | 山本 節夫 | 栗巣 普揮 | 松浦 満 出版者 : 日本応用磁気学会 発行日 : 1996