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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA

誘導結合型プラズマを用いたスパッタ法で作成したCo-Cr垂直磁気ディスク

電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 98 巻 182 号

作成者 : 池田朋広 | 山本節夫 | 栗巣普揮 | 松浦満出版者 : 電子情報通信学会発行日 : 1998-07-17

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誘導結合型プラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるCo-Cr膜の作製 : 基板バイアスによって制御したイオン照射の効果

電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 97 巻 384 号

作成者 : 山本節夫 | 林利彦 | 栗巣普揮 | 松浦満出版者 : 電子情報通信学会発行日 : 1997-11-20

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ECRスパッタ法によるCo-Cr垂直磁気異方性膜作成におけるイオン照射効果の検討

電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 96 巻 166 号

ECRスパッタ法によりCo-Cr膜を作成したとき、その磁気特性と結晶学的特性は成膜中の基板を照射するイオン加速電圧に強く依存することか明らかとなった。このイオン加速電圧はArガス圧とターゲット-基板間距離により制御することができ、イオン加速電圧を20V以下に適正化した結果、50nmの厚さのCo-Cr膜で、優れた結晶配向性(5゜以下のΔθ_<50>)、高い垂直異方性磁界(4kOe以上のH_k)、高い垂直方向力(1400Oe以上のH_<c⊥>)が得ることができた。

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ECRスパッタ法によるCo-Cr-Ta/Ti垂直磁気ディスク作製 : マイクロ波電力による物性制御

電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 99 巻 572 号

電子サイクロトロン共鳴マイクロ波プラズマを利用したスパッタ成膜装置(ECRスパッタ装置)において、独自のパラメータであるマイクロ波電力に着目し、これを活用してCo-Cr-Ta/Ti垂直磁気ディスクの高性能化を試みた。プラズマ生成室に投入するマイクロ波電力を増加させると、生成されるプラズマ密度が増加し、成膜速度を高まること、成膜中に基板を照射するArイオンの量が増加することが明らかになった。Co-Cr-Ta膜の作製において、マイクロ波パワーを成膜初期には高パワーとし、途中からは低パワーに変更するという制御を行うことによって、グレインが微細で、磁気特性および記録特性に優れた垂直磁気ディスクをパワー一定とした従来よりも高速に作製できることを見出した。

作成者 : 池田朋広 | 山本節夫 | 平田京 | 栗巣普揮 | 松浦満出版者 : 電子情報通信学会発行日 : 2000-01-20

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反応性ECRスパッタ法で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアの熱安定性

電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 101 巻 335 号

反応性ECRスパッタ法を用いることにより、3000 Oe程度の高い垂直方向抗磁力と、垂直磁気異方性を示すCo含有酸化鉄薄膜メディアを、室温から150℃の低温で作製できる。このメディアの熱緩和特性、記録特性および再生電圧の時間変化について調べた。その結果、作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアは、市販のMPテープと同等の良好な熱安定性を有し、20 Gb/in^2級長手ハードディスクと同程度のD_<50>および高記録密度領域での信号の時間減衰を示すことが明らかとなった。

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ECRスパッタ法で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアの磁気特性および記録特性

電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 101 巻 399 号

反応性ECRスパッタ法を用いて150℃の基板温度で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアを、2種類の方法によって酸化処理を行い、その磁気特性および記録特性におよぼす効果について調べた。その結果、ECRプラズマを照射することによって酸化処理を施したCo含有酸化鉄薄膜メディアは、平滑な表面を維持したまま磁気特性を向上させることができ、MIGヘッドによる記録・再生において市販の20Gb/in^2級長手ハードディスクと同程度のD_<50>を示すことがわかった。