キーワード
化学蒸着法
部局
大学院理工学研究科
発行年
2010 - 2014
1
キーワード
Chemical vapor deposition
1
Diffusion-controlling
1
Numerical simulation
1
Surface reaction
1
Titanium nitride
1
化学蒸着法
1
拡散律速
1
数値解析
1
窒化チタン
1
表面反応
1
種類
学術雑誌論文
1
部局
大学院理工学研究科（工学）
1
大学院理工学研究科
1
検索結果 1 件
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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
熱CVD法を用いた水平管型反応器内のTiN薄膜生成過程における熱物質移動解析
化学工学論文集 40 巻 5 号
作成者
: 羽鳥 祐耶 | 山本 浩輝 | 田之上 健一郎 | 西村 龍夫
出版者
: 化学工学会
発行日
: 2014-09-20
関連作成者
西村 龍夫
1
田之上 健一郎
1
