発行年
1995 - 1999
キーワード
スパッタ成膜法
部局
大学院理工学研究科（工学）
発行年
1995 - 1999
2
キーワード
Co-Cr膜
2
スパッタ成膜法
2
垂直磁気記録
2
誘導結合型プラズマ
2
ICP
1
イオン照射
1
種類
学術雑誌論文
2
部局
大学院理工学研究科（工学）
2
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山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
誘導結合型プラズマを用いたスパッタ法で作成したCo-Cr垂直磁気ディスク
電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 98 巻 182 号
作成者
: 池田 朋広 | 山本 節夫 | 栗巣 普揮 | 松浦 満
出版者
: 電子情報通信学会
発行日
: 1998-07-17
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
誘導結合型プラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるCo-Cr膜の作製 : 基板バイアスによって制御したイオン照射の効果
電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 97 巻 384 号
作成者
: 山本 節夫 | 林 利彦 | 栗巣 普揮 | 松浦 満
出版者
: 電子情報通信学会
発行日
: 1997-11-20
関連作成者
山本 節夫
2
栗巣 普揮
2
