キーワードスパッタリングターゲット 部局
発行年
2010 - 2014 1
キーワード
Carbon concentration 1 Dry synthesis 1 ITO 1 ITO powder 1 ITO粉 1 Sputtering target 1 Target lifetime 1 スパッタリングターゲット 1 ターゲットライフ 1 乾式合成 1 炭素濃度 1
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種類
学術雑誌論文 1
部局
大学院理工学研究科（工学） 1
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登録番号 (降順)
山口大学学術機関リポジトリYUNOCA
ドライプロセスによるITO粉の合成とそれを用いて作製したITOターゲットのライフ特性
電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 132 巻 1 号
作成者 : 髙橋 誠一郎 | 伊東 洋典 | 小松 隆一 出版者 : 電気学会 発行日 : 2012
関連作成者
小松 隆一 1 伊東 洋典 1
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