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直流イオンプレーティング法による薄膜
タイトル : 直流イオンプレーティング法による薄膜 作成者 : 三木, 久夫 / 山根, 弥生 掲載誌名 : 宇部工業高等専門学校研究報告 巻 : 24 号 : 開始ページ : 15 終了ページ : 19 発行日 : 1978-03
アクセス件数 : 15 件 ダウンロード件数 : 0 件
イオンスパッタリングによる窒化アルミニウム薄膜
タイトル : イオンスパッタリングによる窒化アルミニウム薄膜 作成者 : 三木, 久夫 / 山根, 弥生 掲載誌名 : 宇部工業高等専門学校研究報告 巻 : 23 号 : 開始ページ : 21 終了ページ : 25 発行日 : 1977-03
アクセス件数 : 18 件 ダウンロード件数 : 0 件
X線による薄膜の膜厚測定
タイトル : X線による薄膜の膜厚測定 作成者 : 三木, 久夫 / 山根, 弥生 掲載誌名 : 宇部工業高等専門学校研究報告 巻 : 23 号 : 開始ページ : 17 終了ページ : 20 発行日 : 1977-03
アクセス件数 : 12 件 ダウンロード件数 : 0 件

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