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URIhttp://ypir.lib.yamaguchi-u.ac.jp/un/metadata/614
タイトル半導体環境学 : 環境安全に配慮した稀少元素リサイクルに関する研究
タイトルヨミハンドウタイ カンキョウガク カンキョウ アンゼン ニ ハイリョ シタ キショウ ゲンソ リサイクル ニ カンスル ケンキュウ
タイトル別表記Environmental Safety Issues for Semiconductors : Research for Scarce Material Recycling
作成者和泉, 茂一
菅野, 剛
白濱, 弘幸
伊藤, 満
内田, 雅和
田尾, 鋭司
作成者ヨミイズミ, シゲカズ
スガノ, ツヨシ
シラハマ, ヒロユキ
イトウ, ミツル
ウチダ, マサカズ
タオ, エイジ
作成者別表記Izumi, Shigekazu
Sugano, Tsuyoshi
Shirahama, Hiroyuki
Ito, Mitsuru
Uchida, Masakazu
Tao, Eiji
資料タイプtext
ファイル形式application/pdf
出版者宇部工業高等専門学校
出版者ヨミウベ コウギョウ コウトウ センモン ガッコウ
Nii資料タイプ紀要論文
本文言語jpn
ISSN0386-4359
掲載誌名宇部工業高等専門学校研究報告
47
開始ページ43
終了ページ51
発行日2001-03
著者版/出版社版出版社版
リポジトリIDUN20047000007
備考本文データは国立情報学研究所において電子化したものである
ファイルUN20047000007.pdf ( 1.2MB ) 公開日 2010-02-15
地域区分宇部工業高等専門学校